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洁净室(无尘车间)及相关受控环境—按粒子浓度划分表面洁净度等级(2)

 

表中的值是每1平方米的表面积上等于或大于关注数粒径的离子浓度及SCP等级,括号内的数字,其对应的粒径不应用于分级;选择七大粒径进行分级.
对较低SCP级别的分级,要有大量的测量结果以确立有效值.
 
洁净室及相关受控环境——按纳米粒子浓度划分空气洁净度等级
按悬浮粒子浓度划分空气洁净度等级扩展到纳米尺度分级表

 

 
ISO 14644-12 粒径范围(NPC)
ISO 14644-1 粒径范围(APC)
 
0.001 µm
(1 nm)
0.005 µm
(5 nm)
0.01 µm
(10 nm)
0.05 µm
(50 nm)
0.1 µm
0.2 µm
0.3 µm
0.5 µm
1 µm
5 µm
1
145000 g
5080
1200
e
10e
e
e
e
e
f
2
1 450 000 g
50 800 
12 000
423
100
24 c
10e
e
e
f
3
14 500 000 g
508 000
120 000 b
4230
1000
237
102 b
35 e
e
f
4
145 000 000 g
508 000
1 200 000
423 00
10 000
2370
1020
352
83 e
f
5
d
50 800 000
12 000 000
4 23000
100 000
23700
10200
35 20
8 32
f
6
d
d
d
4 230 000
1000 000
237000
102000
35 200
8 320
293
7
d
d
d
d
d
d
d
35 200 0
8 320 0
2930
8
d
d
d
d
d
d
d
35 200 00
8 320 00
29300
9
d
d
d
d
d
d
d
35 200 000
8 320 000
293000

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